Laserscanningmikroskop

Digitales Laser-Konfokalmikroskop der Firma Keyence. Das Gerät kombiniert eine Weißlichtquelle mit einer Laserdiode (Wellenlänge 658 nm), um hochaufgelöste Mikroskopbilder in Echtfarbe darzustellen. Die Oberfläche wird mit Hilfe einer XY-Abtastoptik und einer Z-Achse mit bis zu 2.048 x 1.536 Pixeln abgetastet. Es entstehen dreidimensionale Aufnahmen, die zur Auswertung lateraler Strukturen, Profiltiefen sowie Oberflächenrauheiten genutzt werden können. Die starke Vergrößerung bis zu 2000x erlaubt ähnliche Aufnahmen wie mit einem REM, bietet jedoch den Vorteil, dass keine spezielle Oberflächenvorbehandlung notwendig ist und nahezu alle Materialien und Oberflächenzustände vermessen werden können.